Trong các nhà máy bán dẫn, chỉ một hạt bụi có kích thước nanomet hay ion kim loại tồn dư trong nước cũng đủ khiến cả mẻ wafer trị giá hàng tỷ đồng bị lỗi. Đó là lý do nước siêu tinh khiết UPW được xem là “nguyên liệu sống còn” của ngành vi mạch.
Thấu hiểu tiêu chuẩn khắt khe đó, Locnuoc360 nghiên cứu và triển khai máy lọc nước tinh khiết 700L/h tích hợp công nghệ RO + EDI + UV, mang đến nguồn nước có độ dẫn điện <0.055 µS/cm, đáp ứng chuẩn SEMI F63 và ASTM D5127 cho sản xuất vi mạch điện tử.
1. Vì sao sản xuất vi mạch điện tử bắt buộc dùng nước siêu tinh khiết?
Trong thực tế vận hành, hệ thống lọc nước tinh khiết cho vi mạch điện tử không chỉ là thiết bị phụ trợ mà là trái tim của dây chuyền. Locnuoc360 ghi nhận 3 vị trí sử dụng nước UPW nhiều nhất tại các fab ở Bắc Ninh, Thái Nguyên, TP.HCM:
- Rửa wafer sau mỗi bước quang khắc và etching: Nước UPW loại bỏ hoàn toàn hạt, ion Na+, K+, Cl- bám trên bề mặt silicon. Nếu dùng nước RO thông thường, ion tồn dư sẽ tạo khuyết tật, giảm tỷ lệ die sống.
- Pha hóa chất, dung môi trong phòng sạch: Nước siêu tinh khiết là dung môi nền để pha HF, H2SO4, NH4OH. Độ tinh khiết quyết định trực tiếp đến độ đồng đều của lớp màng mỏng.
- Làm mát gián tiếp cho thiết bị CVD, PVD, máy khắc plasma: Nước tuần hoàn không chứa silica, TOC giúp tránh cáu cặn, ăn mòn đường ống titanium, kéo dài tuổi thọ thiết bị hàng triệu USD.
Chỉ cần độ dẫn điện tăng từ 0.055 lên 1 µS/cm, nguy cơ short mạch và hỏng cổng logic tăng gấp 3 lần. Do đó, máy lọc nước tinh khiết 700L/h cho sản xuất vi mạch điện tử là mức công suất tối thiểu cho line SMT hoặc fab quy mô vừa, chạy 2 ca/ngày.
2. Locnuoc360 giới thiệu: Máy lọc nước siêu tinh khiết 700L/h RO-EDI
Máy lọc nước tinh khiết 700L/h do Locnuoc360 thiết kế là hệ thống module hóa, tích hợp 5 tầng xử lý chuyên sâu. Khác với máy RO dân dụng, cấu hình này tập trung vào loại bỏ ion đến mức ppb và kiểm soát vi sinh tuyệt đối.
Thông số kỹ thuật máy lọc nước tinh khiết 700L/h
|
Hạng mục |
Thông số chi tiết |
|---|---|
|
Công suất thiết kế |
700 lít/giờ tại 25°C, thu hồi ≥ 75% |
|
Tiêu chuẩn nước đầu ra |
Độ dẫn điện ≤ 0.055 µS/cm, TOC < 5 ppb, Vi sinh 0 CFU/100ml, Silica < 3 ppb. Đạt SEMI F63, ASTM D5127 Type E-1 |
|
Công nghệ chính |
Tiền lọc đa tầng → Làm mềm → Than hoạt tính → RO 8040 → EDI liên tục → UV 254nm → Lọc xác khuẩn 0.1µm |
|
Vật liệu tiếp xúc nước |
Toàn bộ đường ống, bồn chứa, khung: Inox 316L, PVDF, UPVC. Không dùng vật liệu thôi nhiễm ion |
|
Hệ điều khiển |
PLC Siemens + HMI 10 inch, giám sát độ dẫn, lưu lượng, áp suất, TOC online. Tự động CIP, sục rửa RO |
|
Nguồn điện |
380V/3P/50Hz, tổng công suất 5.5 kW |
|
Nguồn nước cấp yêu cầu |
TDS < 500 ppm, Độ cứng < 200 ppm CaCO3, Sắt < 0.1 ppm, SDI < 3 |
|
Kích thước lắp đặt |
D2800 x R1200 x C1900 mm, skid inox 304 |
Tính năng các cấp lọc trong hệ thống 700L/h
|
Cấp lọc |
Vai trò chuyên môn |
Điểm khác biệt của Locnuoc360 |
|---|---|---|
|
Lọc đa vật liệu |
Loại bỏ SS, cặn 5-10 micron, bảo vệ bơm và màng RO |
Dùng Anthracite + Cát thạch anh + Mangan chuyên dụng, rửa ngược tự động theo ΔP |
|
Lọc than hoạt tính |
Hấp phụ clo dư, chloramine, hợp chất hữu cơ gây phá màng RO |
Than gáo dừa hoạt hóa, chỉ số Iodine > 1100 mg/g, tuổi thọ 12 tháng |
|
Làm mềm Cation |
Khử Ca2+, Mg2+ xuống < 1 ppm, chống cáu cặn màng RO |
Van Autotrol 255, tái sinh theo lưu lượng, tiết kiệm 30% muối |
|
Màng RO 8040 |
Loại bỏ 97-99% muối hòa tan, 99.9% vi khuẩn, pyrogen |
Màng Filmtec/Dupont 99.5%, bố trí 2-1, áp vận hành 12-14 bar |
|
Điện khử ion EDI |
Khử sâu ion xuống mức ppb mà không cần axit/bazo tái sinh |
Module E-Cell MK-3, thu hồi nước 95%, độ dẫn ổn định < 0.1 µS/cm |
|
Đèn UV + Lọc 0.1µm |
Phá hủy DNA vi sinh, chặn xác khuẩn trước khi vào bồn thành phẩm |
Đèn UV liều 30 mJ/cm², màng PES 0.1µm absolute, vỏ inox 316L |
3. Nguyên lý hoạt động: Từ nước máy đến UPW chỉ trong 15 phút
Locnuoc360 thiết kế quy trình khép kín, giảm tối đa nguy cơ tái nhiễm:
Nước thủy cục → Bồn trung gian → Bơm cấp → Lọc đa tầng → Lọc than → Làm mềm → Lọc tinh 5µm → Bơm cao áp → Màng RO → Bồn RO → Bơm EDI → Module EDI → Đèn UV → Lọc 0.1µm → Điểm sử dụng.
Điểm mấu chốt nằm ở module EDI: Dòng điện DC tách liên tục cation và anion qua màng trao đổi ion, đồng thời điện phân nước tạo H+ và OH- để tái sinh nhựa tại chỗ.
Nhờ đó, hệ thống lọc nước EDI 700 lít/giờ của Locnuoc360 không phát thải nước thải axit, vận hành 24/7 ổn định, chi phí hóa chất gần như bằng 0.
4. Ưu điểm khi đầu tư máy lọc nước tinh khiết 700L/h tại Locnuoc360
Đạt chuẩn quốc tế, kiểm định tận nơi: Mỗi hệ thống xuất xưởng kèm CO-CQ, test report độ dẫn, TOC, vi sinh bởi phòng lab bên thứ ba. Locnuoc360 hỗ trợ lấy mẫu tại điểm sử dụng theo SEMI F63.
Tiết kiệm 40% chi phí vận hành so với DI truyền thống: EDI không cần mua HCl, NaOH để hoàn nguyên. Lưu lượng nước thải RO được thu hồi 50% để rửa ngược, tổng tỷ lệ thu hồi hệ thống đạt > 80%.
Vận hành thông minh, cảnh báo sớm: HMI hiển thị trend độ dẫn theo thời gian thực. Khi độ dẫn sau EDI > 0.1 µS/cm, hệ thống tự xả bỏ và cảnh báo thay module, tránh rủi ro nước lỗi vào sản xuất.
Tuổi thọ màng RO > 3 năm: Nhờ kiểm soát SDI đầu vào < 3 và chống cáu cặn bằng antiscalant, CIP định kỳ. Locnuoc360 bảo hành màng RO 18 tháng.
5. Ứng dụng thực tế của máy lọc nước 700L/h không chỉ dừng ở vi mạch
Với độ tinh khiết đạt chuẩn UPW, máy lọc nước công nghiệp 700L/h được Locnuoc360 triển khai rộng rãi:
- Nhà máy sản xuất linh kiện bán dẫn, PCB HDI: Rửa bản mạch, mạ hóa học không để lại vết ố ion.
- Sản xuất màn hình LCD, OLED, tấm pin năng lượng mặt trời: Nước UPW rửa kính nền, giảm điểm chết pixel.
- Phòng thí nghiệm R&D, viện nghiên cứu vật liệu: Dùng làm nước nền cho ICP-MS, HPLC, yêu cầu TOC < 3 ppb.
- Dược phẩm vô trùng, mỹ phẩm cao cấp: Nước pha chế thuốc tiêm, serum, đạt tiêu chuẩn USP WFI sau khi chưng cất lại.
- Nhà máy mạ điện, xi mạ linh kiện ô tô: Nước rửa cuối không để lại muối, tăng độ bám và độ bóng lớp mạ.
- Sản xuất pin Lithium, acquy kín khí: Nước điện giải yêu cầu Fe < 1 ppb, Cl- < 50 ppb để tránh tự phóng.
6. Quy trình cung cấp và bảo trì hệ thống lọc nước UPW từ Locnuoc360
Locnuoc360 không bán thiết bị đơn lẻ. Chúng tôi cung cấp giải pháp trọn gói tư vấn – thiết kế – lắp đặt – thẩm định IQ/OQ/PQ cho ngành điện tử:
- Khảo sát & lấy mẫu nước đầu vào: Đo TDS, SDI, TOC, vi sinh tại nhà máy. Từ đó tính toán hệ tiền xử lý phù hợp, tránh oversize gây lãng phí.
- Thiết kế P&ID, layout 3D: Tối ưu đường ống dead-leg < 3D, dùng orbital welding cho inox 316L, đảm bảo không có điểm tù vi sinh.
- Lắp đặt & đánh bóng điện hóa: Toàn bộ mối hàn được passivation, nội soi nội bộ đường ống. Test áp lực 10 bar trong 24h.
- Chạy thử & thẩm định: Đo độ dẫn, TOC, hạt online 7 ngày liên tục. Bàn giao hồ sơ FAT, SAT đầy đủ.
- Bảo trì chủ động 4.0: Locnuoc360 cung cấp dịch vụ từ xa qua IoT. Thay lõi lọc, CIP màng RO định kỳ 6 tháng. Cam kết phản ứng sự cố trong 4h tại KCN miền Bắc và miền Nam.
Vì sao hơn 200 nhà máy chọn Locnuoc360?
Chúng tôi có 12 năm chuyên sâu về xử lý nước công nghiệp, là đối tác của Siemens, Dupont, Pentair. Toàn bộ kỹ sư được đào tạo về GMP, phòng sạch ISO 14644.
Linh kiện EDI, UV, bơm Grundfos nhập khẩu chính ngạch, CO-CQ rõ ràng. Locnuoc360 cam kết nước đầu ra không đạt chuẩn, hoàn tiền 100%.
LOCNUOC360 – CHUYÊN GIA 15 NĂM KINH NGHIỆM VỀ LỌC NƯỚC
Văn phòng: Số 649 Lĩnh Nam, Phường Vĩnh Hưng, Hà Nội
Hotline: 0912 293 769 (Whatsapp, Zalo, Line, Viber)
Website: https://locnuoc360.com – Email: locnuoc360.com@gmail.com





































Đánh giá
Chưa có đánh giá nào.